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离子铣刻蚀技术——荔枝fm不锈钢

发布时间:2020-04-09 点击次数:96

离子铣,也称为离子束刻蚀。是具有强方向性等离子体的一种物理刻蚀机理,它能对小尺寸图形产生各向异性刻蚀。

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离子铣有两个重要的优点:定向性和普适性?淌吹定向性是由于离子束中的离子是通过一个强垂直电场来加速的,反应室中的压力很低,因此原子间的碰撞几乎是完全是不可能的,结果,当原子撞击晶圆片表面时其速度是近乎完全垂直的。因为它是与化学特性无关的,因此对任何材料都可做各向异性刻蚀。

离子铣的第二个优点是它可以用来刻蚀各种不同类型的材料,包括很多化合物和合金材料,即便它们没有适当的挥发性刻蚀生成物。靶的刻蚀速率由于材料不同所引起的变化一般不会超过三倍。

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离子束最小直径约10nm,离子束刻蚀的结构最小可能不会小于10nm。聚焦离子束刻蚀的束斑可达100nm以下,最少的达到10nm,获得最小线宽12nm的加工结果。相比电子与固体相互作用,离子在固体中的散射效应较,并能以较快的直写速度进行小于50nm的刻蚀,故而聚焦离子束刻蚀是纳米加工的一种理想方法。


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